半導體製程即時監測大突破 陳志欣團隊獲第22屆國家新創獎

化學學系教授陳志欣研究團隊，12月19日以「半導體製程氣態分子污染物之即時監測系統」，榮獲第22屆國家新創獎環境科技與能源應用類「學研新創獎」。該獎項由社團法人國家生技醫療產業策進會主辦，為國內生醫與大健康領域具指標性的創新獎項，旨在鼓勵前瞻技術研發與創新應用。