陳志欣李揚漢共同研發半導體製程即時監測系統 淡江首獲國科會科研創業計畫540萬補助。

化學系系主任陳志欣研發成果豐碩，繼取得2020國科會未來科技獎、多項中華民國發明專利及2023台灣創新技術發明競賽金牌獎後，今年8月以「半導體製程氣態分子汙染物之即時監測系統」，獲國科會113年度第2梯次科研創業計畫，共新臺幣540萬元補助，為本校申請此計畫補助通過之第一案。團隊研發出一種針對半導體製程的即時監測系統，提供靈活且經濟的解決方案，另邀請電機系教授李揚漢為共同主持人，預計明年成立新創公司，以新型微量氣體檢測技術打開新市場，為半導體業界提供最新問題解決方案。